張江高科3月一度八天四板且當(dāng)月累計最大漲幅超6成，具有成系列光刻機(jī)五臺并獲大基金二期出資的晶瑞電材周一錄得20cm漲停,。收拾光刻機(jī)工業(yè)鏈上游國內(nèi)代表企業(yè)及具有光刻機(jī)相關(guān)事務(wù)的上市公司名單（附表）,。

  財聯(lián)社4月1日訊（修改 旭日）半導(dǎo)體芯片板塊近期體現(xiàn)強(qiáng)勢，光刻機(jī)分支的概念龍頭張江高科3月期間一度八天四板，當(dāng)月累計最大漲幅達(dá)60%。上星期五公告獲大基金二期出資的晶瑞電材本周一錄得20cm漲停，公司此前在互動易上表明現(xiàn)在具有成系列的光刻機(jī)五臺,，用于光刻膠的研發(fā)。

  此外,，商務(wù)部部長王文濤近來會晤荷蘭阿斯麥公司全球總裁溫寧克,，兩邊還就阿斯麥在華開展等議題進(jìn)行了溝通。

  據(jù)悉,，光刻機(jī)作為半導(dǎo)體設(shè)備三大件之一,，是人類文明才智的結(jié)晶，被譽(yù)為“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠”,。

  揭露資料顯現(xiàn),，光刻機(jī)是芯片制作中光刻環(huán)節(jié)的中心設(shè)備，技能含量,、價值含量極高,。它選用相似相片沖印的技能，把掩模版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上,，通過十余代的開展迭代,，現(xiàn)在最先進(jìn)光刻機(jī)單次曝光能夠做到低于5nm的分辨率。

  依據(jù)全球半導(dǎo)體設(shè)備商場規(guī)模預(yù)算,，2021年全球光刻機(jī)商場規(guī)模為181億美元,，估計2022年將到達(dá)201億美元。全球光刻機(jī)前三大廠商的商場份額占比達(dá)90%以上,，依據(jù)前三大廠商的出售數(shù)據(jù)顯現(xiàn),，2015-2021年,全球光刻機(jī)出售量整體增加，2021年達(dá)478臺,。

  光刻機(jī)商場集中度高,，ASML、Nikon,、Canon商場占有率超越90%,，其間ASML因為其技能搶先，壟斷了EUV光刻機(jī),，獨占75%的商場份額,，Nikon與Canon別離占有13%和6%的商場份額。ASML的光刻機(jī)技能在全球處于肯定搶先地位,，EUV范疇ASML市占率為100%,，ArFi,、ArF范疇市占率別離高達(dá)96%、88%,。

  國內(nèi)光刻機(jī)工業(yè)起步較晚，與海外詳細(xì)距離顯著,。1977年,，清華大學(xué)精細(xì)儀器系、中科院光電所,、我國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所（簡稱中電科45所）等先后投入研發(fā)光刻機(jī),。我國也時隔近十年，研發(fā)出了具有必定代表含義的光刻機(jī)——觸摸式光刻機(jī)GK-3型半自動光刻機(jī),。

  光刻機(jī)工業(yè)鏈?zhǔn)滓嫌卧O(shè)備及配套資料,、中游光刻機(jī)系統(tǒng)集成和出產(chǎn)及下流光刻機(jī)使用三大環(huán)節(jié)，技能極為雜亂,，觸及系統(tǒng)集成,、精細(xì)光學(xué)、精細(xì)運(yùn)動,、精細(xì)物料傳輸,、高精度微環(huán)境操控等多項先進(jìn)技能，部分機(jī)型所需的零部件更是多達(dá)數(shù)十萬件,，因而光刻機(jī)的出產(chǎn)一般觸及上千家供貨商,。

  其間，光刻機(jī)上游國內(nèi)代表企業(yè)包含福晶科技,、奧普光電,、南大廣電、容大感光,、華潤微,、精測電子、芯源微,、菲利華,、清溢光電、茂萊光學(xué),、美?？萍嫉取?

  此外,，據(jù)財聯(lián)社不完全收拾,，近期在互動易渠道回復(fù)光刻機(jī)相關(guān)事務(wù)的上市公司包含賽微電子、大族激光,、炬光科技,、張江高科,、聯(lián)合光電、晶瑞電材,、英唐智控,、美迪凱、同興達(dá)等,。